​氧化铝陶瓷部件是一种高性能陶瓷材料部件，属于精密陶瓷部件，一般是以氧化铝粉作为主要原料并掺入助烧剂经成型、烘干和烧结等工艺制成。氧化铝陶瓷部件具有高硬度、高机械强度、超耐磨性、耐高温、电阻率大、电绝缘性能好等优异性能，能满足真空、高温等特殊环境下的半导体制造复杂性能要求，在半导体制造生产线上有着不可